TOMOS-50製品紹介動画
特徴
- ブラックシリコンＣＭＯＳセンサー採用
- ウェハー内部検査に最適な近赤外まで受光可能（400nm～1200nm）
- 近赤外域の感度が通常カメラの約４倍
- 30fps 表示で画像がなめらか
用途、撮影例
【ウェハーのパターン検査】
【ウェハー内部のボイド検査】
【太陽電池EL検査】
【バイオＩＣＧ蛍光観察】
【スフェロイド近赤外観察】
分光特性
両面映像芯出し
倍率補正機能
倍率補正機能
両面映像を重ね合わせ
表示、計測機能
表示、計測機能
エッジを自動で検出し
高精度に計測が可能
高精度に計測が可能
測定可能内容
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撮影方式
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モノクロカメラ
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画像素子
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1型1COMOS
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有効画素数
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約130万画素【1280（H）×1024（V）】
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セルサイズ
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10（H）×10（V）μｍ
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フレームレート
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30fps
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映像出力
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Camera Link
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重量
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約750g
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外形寸法
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80（W）×90（H）×138（D）mm
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レンズマウント
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Cマウント
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システム構成
