高感度近赤外カメラ FSi-130B

可視から近赤外まで、様々な観察用途に!

FSi-130B

シリコン内部、近赤外蛍光、近赤外微弱発光現象を撮影可能
  • 約130万画素
  • 1型
  • CMOS
  • 30fps

TOMOS-50製品紹介動画

特徴

  • ブラックシリコンCMOSセンサー採用
  • ウェハー内部検査に最適な近赤外まで受光可能(400nm~1200nm)
  • 近赤外域の感度が通常カメラの約4倍
  • 30fps 表示で画像がなめらか

用途、撮影例

【ウェハーのパターン検査】
【ウェハー内部のボイド検査】
【太陽電池EL検査】
【バイオICG蛍光観察】
【スフェロイド近赤外観察】

分光特性

両面映像芯出し
倍率補正機能
両面映像を重ね合わせ
表示、計測機能
エッジを自動で検出し
高精度に計測が可能

測定可能内容

撮影方式
モノクロカメラ
画像素子
1型1COMOS
有効画素数
約130万画素【1280(H)×1024(V)】
セルサイズ
10(H)×10(V)μm
フレームレート
30fps
映像出力
Camera Link
重量
約750g
外形寸法
80(W)×90(H)×138(D)mm
レンズマウント
Cマウント

システム構成