微小線幅測定システム
VP-5LW
- 2020標準システム
- 産業システム
Z軸ステージモーター出力ドライバ、オートフォーカス機能、計測ソフトウェア、Windows OSを搭載したオールインワン型AF画像処理ユニットと300万画素高精細モノクロカメラを組み合わせた簡単操作、低価格の微小線幅測定器です。
仕様
製品名
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微小線幅測定システム VP-5LW
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デジタル画像測定器
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測定内容:線幅、円径
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測定再現性
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3σ=0.01μm(対物100倍、基準スケールをAF動作にて繰り返し測定)
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最小表示
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0.001μm
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線幅エッジ検出
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ネガ、ポジ、内―内、外―外、内―外、ボトムーボトムなど選択可能
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校正値
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レンズ倍率にあわせて20種類登録が可能
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データ出力
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測定結果のCSVデータ、測定結果画像(BMP/JPG)の保存が可能
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OS、CPU
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Windows10 professional 64bit/インテル Core i7 プロセッサー
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オートフォーカス機能
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デジタルカメラの映像信号の画像処理方式
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合焦精度
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対物レンズの焦点深度の約1/3以内
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AF検出位置
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映像視野内の任意の高さと領域の設定でAF可能
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Z軸制御
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5相ステッピングモーター(標準)
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Z軸分解能
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0.01μm(組み合わせるステージによる)
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製品の特徴
1.300万画素高精細カメラで高精度測定
半導体ウェハ、液晶カラーレジストなどの微小線幅を3σ=10nmの繰り返し精度で測定。
2.取り付け簡単、システムアップ!
ご使用の顕微鏡に取り付けて、線幅測定機にシステムアップができます。
3.線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能
4.傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定が可能。
5.簡単操作、高精度AF機能を標準装備
高精度な寸法測定には個人差の無いピント合わせが必須。ピント誤差による測定誤差を防ぎます。
用途例
- 液晶カラーフィルタ、レジストの線幅
- 半導体ウェハ-の約1μmまでの線幅測定
- TAB、COF、リードフレームの各部線幅測定
- ガラスマスクの線幅測定
- 電子部品の各部測定
精度、システム構成
測定精度
対物レンズ
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映像視野(μm)
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1画素分解能(μm)
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繰返し制度3σ(μm)
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100倍
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約70×53
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約0.0345
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0.01
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50倍
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約139×106
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約0.069
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0.02
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20倍
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約348×265
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約0.1725
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0.05
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10倍
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約696×530
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約0.345
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0.10
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5倍
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約1,391×1,060
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約0.69
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0.20
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- 繰返し精度はオートフォーカスを使用し、サンプルの入れ替えはなしで、照明等同じ測定条件で10回測定した3σの値です。(サンプルの条件により上記と異なる場合があります)
- 数値は300万画素モノクロCCDカメラMAR-300Bで測定したものです。