VP-5LW

微小線幅測定システム

VP-5LW

Z軸ステージモーター出力ドライバ、オートフォーカス機能、計測ソフトウェア、Windows OSを搭載したオールインワン型AF画像処理ユニットと300万画素高精細モノクロカメラを組み合わせた簡単操作、低価格の微小線幅測定器です。

仕様

製品名
微小線幅測定システム VP-5LW
デジタル画像測定器
測定内容:線幅、円径
測定再現性
3σ=0.01μm(対物100倍、基準スケールをAF動作にて繰り返し測定)
最小表示
0.001μm
線幅エッジ検出
ネガ、ポジ、内―内、外―外、内―外、ボトムーボトムなど選択可能
校正値
レンズ倍率にあわせて20種類登録が可能
データ出力
測定結果のCSVデータ、測定結果画像(BMP/JPG)の保存が可能
OS、CPU
Windows10 professional 64bit/インテル Core i7 プロセッサー
オートフォーカス機能
デジタルカメラの映像信号の画像処理方式
合焦精度
対物レンズの焦点深度の約1/3以内
AF検出位置
映像視野内の任意の高さと領域の設定でAF可能
Z軸制御
5相ステッピングモーター(標準)
Z軸分解能
0.01μm(組み合わせるステージによる)

製品の特徴

1.300万画素高精細カメラで高精度測定

半導体ウェハ、液晶カラーレジストなどの微小線幅を3σ=10nmの繰り返し精度で測定。

2.取り付け簡単、システムアップ!

ご使用の顕微鏡に取り付けて、線幅測定機にシステムアップができます。

3.線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能

ネジ、ポジ、インサイド、アウトサイド、ビトム

4.傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定が可能。

傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定が可能。

5.簡単操作、高精度AF機能を標準装備

AF操作画面
高精度な寸法測定には個人差の無いピント合わせが必須。ピント誤差による測定誤差を防ぎます。

用途例

  • 液晶カラーフィルタ、レジストの線幅
  • 半導体ウェハ-の約1μmまでの線幅測定
  • TAB、COF、リードフレームの各部線幅測定
  • ガラスマスクの線幅測定
  • 電子部品の各部測定
カラーフィルタ、レジスト、TAB、フォトマスク

精度、システム構成

測定精度

対物レンズ
映像視野(μm)
1画素分解能(μm)
繰返し制度3σ(μm)
100倍
約70×53
約0.0345
0.01
50倍
約139×106
約0.069
0.02
20倍
約348×265
約0.1725
0.05
10倍
約696×530
約0.345
0.10
5倍
約1,391×1,060
約0.69
0.20
  • 繰返し精度はオートフォーカスを使用し、サンプルの入れ替えはなしで、照明等同じ測定条件で10回測定した3σの値です。(サンプルの条件により上記と異なる場合があります)
  • 数値は300万画素モノクロCCDカメラMAR-300Bで測定したものです。
システム構成接続図