製品の概要
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あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、ＭＥＭＳ、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークのずれを自動測定できます。
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円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを自動検出し、中心座標同士のずれを測定します。
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ＸＹＺステージ制御条件、測定条件、マップ作成、レシピ登録し、ワークの複数箇所を自動測定。
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ＸＹステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能、測定対象を映像中心位置に移動制御する
センタリング機能を搭載。正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 -
オプションで広視野レンズ、サブカメラを取り付けてウェハの自動アライメント動作が可能。
用途
【表裏画像保存】
電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、
フィルターなどの表裏画像撮影
フィルターなどの表裏画像撮影
■落射、透過、落射＋透過照明で撮影が可能
■両面同時観察、画像ファイリング
【表裏位置ずれ計測】
水晶振動子、ＭＥＭＳなどのアライメントマーク、貫通穴の表裏位置ずれ計測
■表裏マークなどの中心座標を自動検出
■測定個人差の無い自動計測が可能
【表裏寸法計測】
水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測
■両面同時に寸法計測
■測定個人差の無い自動計測が可能
機能
マークのエッジから中心座標を自
動検出し高精度にずれ測定が可能
動検出し高精度にずれ測定が可能
測定対象をセンタリング制御
しステージ移動誤差を解消
しステージ移動誤差を解消
ワークをひっくり返す手間無く
表裏の微小線幅寸法測定も可能
（オプション）
表裏の微小線幅寸法測定も可能
（オプション）
仕様、機能
測定可能内容
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光学系
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鏡鏡筒
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2個（正位、倒立）
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対物レンズ
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2本（5、10、20倍から選択）
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Z軸制御
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Ｚストローク：±10mm
オートフォーカス機能付 |
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電動XYステージ可動範囲
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200mm × 200mm
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照明
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2個、白色LED、ソフト制御
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カメラ
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2個（320万画素、Color／Mono）
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PC
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OS：Windows11 Pro
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モニター
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縦型液晶、表裏2映像表示
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ソフト機能
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表裏光軸補正
表裏レンズ倍率補正 表裏カメラ取付θ補正 表裏同時撮影、ファイリング 表裏位置ずれ自動測定、測定結果出力 電動ステージ制御、マップ作成 移動アライメント補正 測定位置センタリング機能 連続移動運転測定 表裏寸法自動測定（オプション） |
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●ソフト、サンプルホルダーなどのカスタマイズ対応
ワーク名、ロットナンバー情報などの入力、
特殊マーク形状、パターン形状の自動測定、
位置ずれ、寸法以外の測定内容、
測定結果の出力方法など、
ソフトウェアのカスタマイズは、ご相談下さい。
お客様のワーク形状や材料に合わせたサンプルホルダ
ーの製作もご相談下さい。
●縦型液晶２画面表示イメージ -
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●ソフト、サンプルホルダーなどのカスタマイズ対応
ワーク名、ロットナンバー情報などの入力、
特殊マーク形状、パターン形状の自動測定、
位置ずれ、寸法以外の測定内容、
測定結果の出力方法など、
ソフトウェアのカスタマイズは、ご相談下さい。
お客様のワーク形状や材料に合わせたサンプルホルダ
ーの製作もご相談下さい。 -
●縦型液晶２画面表示イメージ