製品の概要
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6インチＸＹステージを搭載！
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水晶振動子、ＭＥＭＳ、インクジェットノズル、半導体電子部品などの検査に！
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表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能！
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表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正！
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±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定！（被写体や環境条件により異なる）
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表裏２ｃｈオートフォーカスユニット組み合わせ可能！（オプション）
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電動ＸＹステージ制御システム開発中！
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装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能！
用途
【観察】
電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、
フィルターなどの表裏同時観察
フィルターなどの表裏同時観察
■落射、透過、落射＋透過照明で撮影が可能
■両面同時観察、画像ファイリング、動画記録
【表裏位置ずれ計測】
水晶振動子、ＭＥＭＳなどのアライメントマーク、
貫通穴の表裏位置ずれ計測
貫通穴の表裏位置ずれ計測
■表裏画像の重ね合わせ表示、計測
■測定個人差の無い自動計測が可能
【表裏寸法計測】
水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測
■両面同時に寸法計測
■測定個人差の無い自動計測が可能
機能
両面映像芯出し
倍率補正機能
倍率補正機能
両面映像を重ね合わせ
表示し、ずれ量を計測
表示し、ずれ量を計測
マークのエッジから
中心座標を自動検出し高精度に計測が可能
中心座標を自動検出し高精度に計測が可能
測定可能内容
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光学系
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正立、倒立
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対物レンズ
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5、10、20、50倍から選択
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粗微動調整
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正立、倒立（手動）
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XY稼働範囲
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150mm × 150mm
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照明
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白色LED照明（変更可、ソフト制御）
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カメラ
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正立、倒立 2個
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センサー
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1/1.8型CMOSモノクロ（カラー可）
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画素数
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300万画素
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映像出力
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CameraLink
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制御部（PC）
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Windows11
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モニター
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縦型液晶モニター、2カメラ映像表示
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ソフト機能
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表裏光軸補正機能
表裏同時撮影、ファイリング 表裏合成表示 表裏寸法手動計測 表裏寸法自動計測（オプション） 表裏位置ずれ手動計測 表裏位置ずれ自動計測（オプション） |
電動ＸＹステージ制御システム
電動ＸＹステージを組み合わせて、あらかじめ指定した複数箇所のＸＹステージ座標に移動し、自動ピント合わせと中心座標の自動検出、ずれ測定を繰り返す自動測定システムを開発中（搬送機は含まず）。
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【電動ステージ付両面顕微鏡】
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電動ステージコントローラ
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【モニター、ソフトイメージ】
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組込用
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装置組み込み用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能！
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