TOMOS-50製品紹介動画
製品の概要
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水晶振動子、ＭＥＭＳ、インクジェットノズル、半導体電子部品などの検査に！
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表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能！
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表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正！
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±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定！（条件により異なる）
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装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能！
用途
【観察】
電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、
フィルターなどの表裏同時観察
フィルターなどの表裏同時観察
■落射、透過、落射＋透過照明で撮影が可能
■両面同時観察、画像ファイリング、動画記録
【表裏位置ずれ計測】
インクジェットノズル、水晶振動子、
ＭＥＭＳなどの表裏位置ずれ計測
ＭＥＭＳなどの表裏位置ずれ計測
■表裏カメラ座標を校正し、位置ずれ計測
■測定個人差の無い自動計測が可能
【表裏寸法計測】
水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測
■両面同時に寸法計測
■測定個人差の無い自動計測が可能
機能
両面映像芯出し
倍率補正機能
倍率補正機能
両面映像を重ね合わせ
表示、計測機能
表示、計測機能
エッジを自動で検出し
高精度に計測が可能
高精度に計測が可能
測定可能内容
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光学系
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正立、倒立
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対物レンズ
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5、10、20、50倍から選択
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粗微動調整
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正立、倒立（手動）
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XY可動範囲
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100mm × 100mm
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照明
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白色LED照明（変更可）
正立、倒立（ソフト制御） |
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カメラ
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正立、倒立 2個
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センサー
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1/1.8型CMOSモノクロ（カラー可）
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画素数
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300万画素
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映像出力
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CameraLink
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制御部（PC）
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Windows11
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モニター
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縦型液晶モニター、2カメラ映像表示
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ソフト機能
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表裏光軸補正機能
表裏同時撮影、ファイリング 表裏合成表示 表裏寸法手動計測 表裏寸法自動計測（オプション） 表裏位置ずれ手動計測 表裏位置ずれ自動計測（オプション） |
組込用
装置組み込み用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能！