両面顕微鏡システム TOMOS-50

コンパクトタイプ 表裏位置ずれ計測システム

TOMOS-50

表裏の位置ずれ/寸法測定顕微鏡。高精度、低価格化を実現。
  • 約300万画素
  • モノクロ
  • Camera Link

TOMOS-50製品紹介動画

製品の概要

  • 水晶振動子、MEMS、インクジェットノズル、半導体電子部品などの検査に!
  • 表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能!
  • 表裏光軸補正はマイクロステージ+ソフトウェアで高精度に補正!
  • ±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定!(条件により異なる)
  • 装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能!

用途

【観察】

【観察】

電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、
フィルターなどの表裏同時観察

■落射、透過、落射+透過照明で撮影が可能
■両面同時観察、画像ファイリング、動画記録

【表裏位置ずれ計測】

【表裏位置ずれ計測】

インクジェットノズル、水晶振動子、
MEMSなどの表裏位置ずれ計測

■表裏カメラ座標を校正し、位置ずれ計測
■測定個人差の無い自動計測が可能

【表裏寸法計測】

【表裏寸法計測】

水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測

■両面同時に寸法計測
■測定個人差の無い自動計測が可能

機能

両面映像芯出し
倍率補正機能
両面映像を重ね合わせ
表示、計測機能
エッジを自動で検出し
高精度に計測が可能

測定可能内容

光学系
正立、倒立
対物レンズ
5、10、20、50倍から選択
粗微動調整
正立、倒立(手動)
XY可動範囲
100mm × 100mm
照明
白色LED照明(変更可)
正立、倒立(ソフト制御)
カメラ
正立、倒立 2個
センサー
1/1.8型CMOSモノクロ(カラー可)
画素数
300万画素
映像出力
CameraLink
制御部(PC)
Windows10
モニター
縦型液晶モニター、2カメラ映像表示
ソフト機能
表裏光軸補正機能
表裏同時撮影、ファイリング
表裏合成表示
表裏寸法手動計測
表裏寸法自動計測(オプション)
表裏位置ずれ手動計測
表裏位置ずれ自動計測(オプション)

組込用

装置組み込み用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能!