TM-200

両面顕微鏡位置ずれ計測システム

TM-200

AF機能を搭載し表裏の位置ずれを高精度自動計測!
  • 約300万画素
  • カラー
  • Camera Link

製品の特徴

製品の特徴
・小型化高精度化し、両面の位置ずれを±1umで測定
・FA自動化へ対応可能なシステム
・両面ともにAFを搭載可能で、再現性が高い計測が可能
・下側にIRカメラも搭載可能で、内部の位置ずれも計測可能

用途

観察

電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体などの表裏同時観察、動画記録
電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体などの表裏同時観察、動画記録
・落射、透過、落射+透過撮影が可能。
・表裏同時観察、画像ファイリング、動画記録、表裏重ね合わせ表示、手動寸法測定。

寸法・表裏位置ずれ計測

寸法・表裏位置ずれ計測
プリント基板貫通穴、メッシュフィルター、水晶振動子などの表裏位置ずれ計測、寸法計測
・表裏カメラ座標を校正し、位置ずれ計測。
・エッジを自動で検出し、測定個人差の無い表裏パターンの線幅/寸法計測。

特徴

画像映像心出し、倍率補正機能、画像映像重ね合わせ表示、計測機能

仕様

光学系

鏡筒
正立+倒立
対物レンズ
5倍、10倍、20倍、50倍から選択
オートフォーカス
あり(正立、倒立)
粗微動調整
電動(正立、倒立)
XYステージ
手動 X:80mm Y:80mm

照明

照明
白色LED(PC制御)

カメラ

台数
2台(正立、倒立)
画素数
約300万画素
撮像サイズ
約1/1,8型
映像方式
カラー
映像出力
CameraLink

制御部

PC(OS)
Windows10
制御内容
カメラ、照明
表示モニター
上下2画面同時表示

ソフトウェア

システム制御
光軸/倍率補正
両面観察、画像ファイリング
両面映像動画記録
両面映像重ね合わせ表示
位置ずれ手動計測/自動計測
○/△オプション
微小寸法手動計測/自動計測
○/△オプション
段差計測
△オプション
厚み計測
×

測定精度

測定精度
表裏位置ずれ計測:±1μm
  • 測定精度はサンプルの種類や状態により変わります。