TM-100

両面顕微鏡システム

TM-100

昨今、電子部品は益々微小になりかつ精密に成ってきました。部品は積層や表裏構造が当たり前の時代です。 この顕微鏡は、表裏パターンの位置関係、微小寸法測定、高さ、段差測定、さらに厚みまでの計測可能な画期的システムです。
  • 表裏撮影
  • 段差測定
  • 表裏座標
  • 形状測定
  • 厚み測定

撮影モード

半導体等の電子部品の撮影、ガラス・フィルム等の透過部品の撮影

光学系の調整機能

上下工学系心出し調整、電子心出し、倍率、角度、補正機能、上下工学系のみゲンテン(O点)校正
「上下対物レンズの芯出し方法」動画
「カメラ映像での電子芯出、補正方法」動画
「上下厚みゼロ原点調整」動画

観察、手動計測

観察、手動計測

概要

■落射、透過、落射+透過同時撮影が可能
■表裏同時観察、画像ファイリング、動画記録、表裏重ね合わせ表示、手動寸法計測が可能
観察、手動計測

用途

■電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体などの観察
■メッシュフィルター、水晶振動子、電子部品等の表裏観察
「電子ペーパーセルの表裏同時観察」動画
「表裏微小線幅測定」動画
「上下映像重ね合わせ、ずれ量計測」動画

段差、厚み計測

段差、厚み計測

概要

■段差、厚み測定用ターゲットマークを搭載し、ワーク表面にピントを合わせることで、段差、厚み測定が可能
段差、厚み計測

用途

■ガラス、フィルム、水晶振動子や電子部品の配線パターン、塗膜の段差、厚み測定
「厚み測定方法」動画
「段差測定方法」動画

自動寸法計測、裏表位置ずれ計測

自動寸法計測、裏表位置ずれ計測

概要

■AF機能や自動計測で測定個人差の無い表裏線幅/寸法計測が可能
■表裏カメラ座標を校正し、位置ずれ計測が可能
自動寸法計測、裏表位置ずれ計測

用途

■メッシュフィルター、水晶振動子等の微小寸法計測
■メッシュフィルター、インクジェットノズル、水晶振動子等の表裏位置ずれ測定
「表裏微小寸法自動計測」動画