微小線幅測定システム
LW-3200/MT-3200
- NEW
- 産業システム
様々な半導体シーンに対応した高精度デジタルカメラ方式の測定器。高速顕微鏡AF画像取り込みとボトム、インサイド等の設定やプロファイル表示等の線幅に特化した機能で高精度自動測定が可能。
- 約320万画素
- 55fps
- Cマウント
- Camera Link
製品特徴
- 取り付けカンタン、システムアップ。ご使用の顕微鏡に取り付けて線幅測定器にシステムアップができます。
- 線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能
- 傾いている線も検出した線に対して垂直に測定が可能
測定可能内容
ALMeasure
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線幅、円径
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MILETOS
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線幅、円径、円弧、面積、角度、エッジ、間隔
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簡単操作、高精度AFと組み合わせ可能(オプション)
高精度な寸法測定には個人差の無いピント合わせが必須。
ピント位置による測定誤差を防ぎます。
ピント位置による測定誤差を防ぎます。
カメラ仕様(MAR-300B/C)
撮像素子
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1/1.8型CMOSモノクロ/カラー
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読取方式
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グローバルシャッター
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有効画素数
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2,016(H) X 1,536(V) 約320万画素
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画素サイズ
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3.45(H) X 3.45(V) µm
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フレームレート
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55fps
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映像出力
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Mini Camera Link PoCL出力
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取付マウント
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Cマウント
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カメラ寸法
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35(W) X 35(H) X 40.7(0) mm
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カメラ重量
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約69g
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画像処理部仕様
デジタル画像測定器
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測定内容:線幅、円径(円弧、面積、角度、エッジ、間隔)
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測定再現性
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3σ=0.01µm(対物100倍、AF動作にて繰り返し測定)
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最小表示
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0.001µm
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線幅エッジ検出
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ネガ、ポジ、内―内、外―外、内―外、ボトムーボトムなど選択可能
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校正値
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レンズ倍率にあわせて20種類登録が可能
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データ出力
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測定結果のCSVデータ、測定結果画像(BMP/JPG)の保存が可能
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OS/CPU
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Windows10 pro 64bit/インテル Core i5 プロセッサー
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内蔵メモリ/H00ドライブ
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8GB/500GB
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インターフエイス
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CameraLink、USB2.0/3.0、RS232C、LAN
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オートフォーカス(オプション)仕様
AF方式
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デジタルカメラの映像信号の画像処理方式
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合焦精度
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対物レンズの焦点深度の約1/3以内
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AF検出位置
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映像視野内の任意の高さと領域の設定でAF可能
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z軸制御
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5相ステッピングモーター(標準)
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z軸分解能
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0.01µm(組み合わせるステージによる)
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測定精度
対物レンズ
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映像視野(µm)
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1画素分解能(µm)
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繰返し精度3σ(µm)
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100倍
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約70X53
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約0.0345
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0.01
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50倍
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約139X106
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約0.069
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0.02
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20倍
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約348X265
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約0.1725
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0.05
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10倍
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約696X530
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約0.345
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0.10
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5倍
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約1,391X1,060
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約0.69
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0.20
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- 繰返し精度は、オートフォーカスを使用し、サンプルの入れ替えはなしで、照明等同じ測定条件で10回測定した3σの値です。(サンプルの条件により上記と異なることがあります)
- 数値は、320万画素モノクロカメラMAR-300Bで測定したものです。
システム構成接続図
顕微鏡、液晶モニター、AFユニット、モーターカプラは、オプション。