LW-3200/MT-3200

微小線幅測定システム

LW-3200/MT-3200

様々な半導体シーンに対応した高精度デジタルカメラ方式の測定器。高速顕微鏡AF画像取り込みとボトム、インサイド等の設定やプロファイル表示等の線幅に特化した機能で高精度自動測定が可能。
  • 約320万画素
  • 55fps
  • Cマウント
  • Camera Link

製品特徴

  • 取り付けカンタン、システムアップ。ご使用の顕微鏡に取り付けて線幅測定器にシステムアップができます。
  • 線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能
ネガ、ポジ、インサイド、アウトサイド、ボトム
  • 傾いている線も検出した線に対して垂直に測定が可能
ネガ、ポジ、インサイド、アウトサイド、ボトム

測定可能内容

ALMeasure
線幅、円径
MILETOS
線幅、円径、円弧、面積、角度、エッジ、間隔

簡単操作、高精度AFと組み合わせ可能(オプション)

Mimic-AF
高精度な寸法測定には個人差の無いピント合わせが必須。
ピント位置による測定誤差を防ぎます。

カメラ仕様(MAR-300B/C)

撮像素子
1/1.8型CMOSモノクロ/カラー
読取方式
グローバルシャッター
有効画素数
2,016(H) X 1,536(V) 約320万画素
画素サイズ
3.45(H) X 3.45(V) µm
フレームレート
55fps
映像出力
Mini Camera Link PoCL出力
取付マウント
Cマウント
カメラ寸法
35(W) X 35(H) X 40.7(0) mm
カメラ重量
約69g

画像処理部仕様

デジタル画像測定器
測定内容:線幅、円径(円弧、面積、角度、エッジ、間隔)
測定再現性
3σ=0.01µm(対物100倍、AF動作にて繰り返し測定)
最小表示
0.001µm
線幅エッジ検出
ネガ、ポジ、内―内、外―外、内―外、ボトムーボトムなど選択可能
校正値
レンズ倍率にあわせて20種類登録が可能
データ出力
測定結果のCSVデータ、測定結果画像(BMP/JPG)の保存が可能
OS/CPU
Windows10 pro 64bit/インテル Core i5 プロセッサー
内蔵メモリ/H00ドライブ
8GB/500GB
インターフエイス
CameraLink、USB2.0/3.0、RS232C、LAN

オートフォーカス(オプション)仕様

AF方式
デジタルカメラの映像信号の画像処理方式
合焦精度
対物レンズの焦点深度の約1/3以内
AF検出位置
映像視野内の任意の高さと領域の設定でAF可能
z軸制御
5相ステッピングモーター(標準)
z軸分解能
0.01µm(組み合わせるステージによる)

測定精度

対物レンズ
映像視野(µm)
1画素分解能(µm)
繰返し精度3σ(µm)
100倍
約70X53
約0.0345
0.01
50倍
約139X106
約0.069
0.02
20倍
約348X265
約0.1725
0.05
10倍
約696X530
約0.345
0.10
5倍
約1,391X1,060
約0.69
0.20
  • 繰返し精度は、オートフォーカスを使用し、サンプルの入れ替えはなしで、照明等同じ測定条件で10回測定した3σの値です。(サンプルの条件により上記と異なることがあります)
  • 数値は、320万画素モノクロカメラMAR-300Bで測定したものです。

システム構成接続図

顕微鏡、液晶モニター、AFユニット、モーターカプラは、オプション。